ジェイテクトは、9月25日～26日にマリンメッセ福岡で開催される第1回［九州］半導体産業展に出展する。

この展示会は、九州地区における初めての半導体およびその関連産業に特化した専門展示会だ。

九州地区には、国内外の主要な半導体関連企業が集積している。ジェイテクトはこの展示会で半導体製造装置関連の軸受を展示し、半導体製造装置メーカーおよび補修メーカーの課題に対し、同社の技術を生かしたソリューションを提案する。

主な出展製品としては、ターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受がある。超高速回転のターボ分子ポンプには磁気軸受が用いられるが、電源遮断や磁気装置の故障時にブレードを保護するためにタッチダウン軸受が使用される。過酷な環境下で使用されるため、総玉形組合せセラミック軸受が採用されている。

また、潤滑切れやクリープといった半導体製造装置関連の軸受で生じる課題に対しても、ジェイテクトの技術を生かした軸受でソリューションを提案する予定だ。

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