取得した新技術は半導体製造プロセスにおけるウエハーの仮固定などでの用途を想定する

信越化学工業は22日、米企業が保有するヤモリの手を模した構造を使って接着する技術を使用する権利を取得したと発表した。先端が分岐した極細の毛が高密度で生えているヤモリの手の特徴に着目した技術で、半導体製造プロセスにおけるウエハーの仮固定に使う材料などへの応用を想定する。

取得したのは米スタートアップのセテックス・テクノロジーズが開発した「生物模倣による乾式接着」という技術。具体的な契約内容は明らかにしていない。ヤモリの手を模倣した構造を材料表面に加工することで摩擦などが生まれ接着できる。セテックスが消費者向け製品の開発に特化する一方で、信越化学は自社の材料技術と組み合わせることで企業向けに製品開発を進める。

半導体製造のウエハーを仮固定する工程で、接着剤を使わずに済めば、接着剤やそれを溶かす溶剤の利用を減らすことができ、半導体製造プロセスの脱炭素につながるとみる。従来の接着剤では対応できない高温の製造プロセスでも使える可能性がある。

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