富士フイルムは30日、最先端の半導体製造装置で使う材料を5月下旬からキヤノンに販売すると発表した。「ナノインプリント技術」を駆使した装置で、人工知能（AI）や自動運転などの広がりで需要拡大が見込まれている。富士フイルムは半導体材料事業の成長につなげる。
富士フイルムの子会社で、電子材料を手がける富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（横浜市）を通じて販売する。生産は同社の静岡工場（静岡県吉田町）で5月からはじめる。
「ナノインプリントレジスト」と呼ばれる半導体材料をキヤノンに納入する。半導体製造に用いるウエハーに塗布し、回路パターンが刻み込まれた型をハンコのように押し当てて、回路パターンを転写する工程で使う。
ナノインプリント技術を搭載した半導体製造装置はキヤノンが世界で初めて実用化し、2023年10月から発売している。これまで普及してきた製造手法と比べて、低コストや省電力で生産できる強みがある。現状で製造販売するのはキヤノンのみだ。
富士フイルムは従来の半導体製造工程で使う材料の「フォトレジスト」で世界で一定のシェアを持つ。半導体材料をグループの成長の柱と位置づけており、27年3月期の売上高で3000億円と、25年3月期見通しの2400億円から25%増やす方針を掲げている。新しい製造工程にも対応する材料をいち早く販売することで事業成長を目指す。
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